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激光干涉測(cè)量技術(shù)的特點(diǎn)是什么?

中圖儀器 ? 2022-08-03 16:39 ? 次閱讀
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SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

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測(cè)量技術(shù)特點(diǎn):

1.測(cè)量精度高、速度快,穩(wěn)定性好

①使用高性能氦氖激光器,結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng),達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)

②以光波長(zhǎng)(633nm)為測(cè)量單位,分辨率可達(dá)nm級(jí)

③使用高速光電信號(hào)采樣和處理技術(shù),測(cè)量速度可達(dá)到4m/s。

④配合有環(huán)境補(bǔ)償單元,在環(huán)境變化的情況下,也可以得到較高的測(cè)量精度

⑤分離式干涉鏡設(shè)計(jì),避免了測(cè)量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變

2. 應(yīng)用范圍廣

①可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)

②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng),可以用于速度,加速度,振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析

③可實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù),進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析

3.軟件界面友好

①使用當(dāng)前熱門的軟件界面開(kāi)發(fā)工具,軟件界面人性化,操作簡(jiǎn)單。

②將靜態(tài)測(cè)量和動(dòng)態(tài)測(cè)量?jī)煞N功能合并到一個(gè)軟件中,更方便用戶切換測(cè)量類型。

③向?qū)讲僮?,流程清晰,更符合?guó)內(nèi)用戶的使用習(xí)慣。

4 性價(jià)比高

性能達(dá)到了國(guó)外儀器的水準(zhǔn),價(jià)格是國(guó)內(nèi)儀器的良心價(jià)。

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