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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
微機(jī)電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號(hào)處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項(xiàng)革命性的新技術(shù),廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),是一項(xiàng)關(guān)系到國(guó)家的科技發(fā)展、經(jīng)濟(jì)繁榮和國(guó)防安全的關(guān)鍵技術(shù)。
MEMS側(cè)重于超精密機(jī)械加工,涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機(jī)械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機(jī)械學(xué)的各分支。
常見(jiàn)的產(chǎn)品包括MEMS加速度計(jì)、MEMS麥克風(fēng)、微馬達(dá)、微泵、微振子、MEMS光學(xué)傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產(chǎn)品。
微測(cè)輻射熱計(jì)(Microbolometer)是一種基于MEMS工藝制造的非制冷型紅外傳感器,通過(guò)探測(cè)物體輻射的紅外線(xiàn)實(shí)現(xiàn)溫度測(cè)量與熱成像。其核心原理是利...
?X-STM32MP-MSP01 多傳感器擴(kuò)展板技術(shù)摘要
STMicroelectronics X-STM32MP-MSP01 STM32MP擴(kuò)展板設(shè)有運(yùn)動(dòng)MEMS、環(huán)境傳感器、環(huán)境光、飛行時(shí)間傳感器、數(shù)字麥克...
ST IIS2DULPX:超低功耗AI加速計(jì),重新定義智能邊緣傳感
STMicroelectronics IIS2DULPX超低功耗AI加速計(jì)是一款其MEMS和ASIC設(shè)計(jì)為運(yùn)用盡可能低電源電流的加速計(jì)。其特點(diǎn)包括有限狀...
STEVAL-MKI244A適配器板技術(shù)解析與應(yīng)用指南
STMicroelectronics STEVAL-MKI244A適配器板設(shè)計(jì)用于輕松評(píng)估ASM330LHBG1產(chǎn)品系列中的MEMS器件。該板提供一款有...
詳解意法半導(dǎo)體LSM6DSV320X傳感器開(kāi)發(fā)平臺(tái)性能
ST又一新品力作,LSM6DSV320X傳感器,并且得到STEVAL-MKI109D主板的支持,使用配套的上位機(jī)可以實(shí)現(xiàn)豐富的產(chǎn)品體驗(yàn)和開(kāi)發(fā)輔助。本文主...
2025-10-18 標(biāo)簽:傳感器mems意法半導(dǎo)體 2.4k 0
加速度計(jì)傳感器能夠檢測(cè)多種機(jī)械運(yùn)動(dòng)形態(tài),包括慣性力、傾斜、振動(dòng)與沖擊等。目前市場(chǎng)上存在多種類(lèi)型的加速度傳感器,分別采用壓電式、壓阻式及電容式等不同傳感原...
2025-10-17 標(biāo)簽:mems加速度計(jì)運(yùn)動(dòng)傳感器 57 0
?Microchip DSA61xx MEMS振蕩器技術(shù)解析:汽車(chē)電子時(shí)鐘方案的革新選擇
Microchip Technology DSA61 MEMS振蕩器具備業(yè)界領(lǐng)先的低功率消耗,并在溫度變化下保持出色的頻率穩(wěn)定性和低抖動(dòng)性能。Micr...
?Microchip DSA60XX MEMS振蕩器技術(shù)解析與應(yīng)用指南
Microchip Technology DSA60 MEMS振蕩器 具備業(yè)界領(lǐng)先的 低功率表現(xiàn),并在各種溫度范圍內(nèi)提供出色的頻率穩(wěn)定性和低抖動(dòng)性能。...
Microchip DSC12X2/3/4高性能差分MEMS振蕩器技術(shù)解析
Microchip Technology DSC12X2/3/4標(biāo)準(zhǔn)時(shí)鐘振蕩器采用 硅MEMS技術(shù)來(lái)降低近端噪聲,并提供出色的抖動(dòng)性能。該振蕩器可在寬電...
2025-10-13 標(biāo)簽:mems時(shí)鐘振蕩器 142 0
HV56266高電壓運(yùn)算放大器的技術(shù)解析與應(yīng)用指南
Microchip Technology HV56266運(yùn)算放大器是一款單通道MEMS放大器,帶外部增益設(shè)置電阻器。這款放大器設(shè)計(jì)能夠穩(wěn)定帶動(dòng)最大15p...
2025-10-11 標(biāo)簽:放大器mems運(yùn)算放大器 187 0
MEMS矢量水聽(tīng)器敏感結(jié)構(gòu)的后CMOS釋放工藝研究立即下載
類(lèi)別:模擬數(shù)字論文 2025-07-24 標(biāo)簽:半導(dǎo)體mems
高精度六軸MEMS運(yùn)動(dòng)跟蹤TM器件ICM-42688-P 數(shù)據(jù)表立即下載
類(lèi)別:IC datasheet pdf 2024-08-12 標(biāo)簽:mems速度計(jì)
ADIS16470微型MEMS慣性測(cè)量單元(IMU)英文手冊(cè)立即下載
類(lèi)別:IC datasheet pdf 2024-07-22 標(biāo)簽:memsIMU
ADI公司突破性的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)開(kāi)關(guān)技術(shù)立即下載
類(lèi)別:電子資料 2023-11-27 標(biāo)簽:adimems微機(jī)電系統(tǒng)
Pickering 新型基于MEMS技術(shù)的多端口千兆以太網(wǎng)接口單元(GBASE-T1 FIU),顯著提升了測(cè)試系統(tǒng)的帶寬、數(shù)據(jù)吞吐
迄今為止, Pickering 公司推出的帶寬最高的故障注入裝置采用微機(jī)電系統(tǒng)( MEMS )開(kāi)關(guān)技術(shù),實(shí)現(xiàn)了高速、穩(wěn)定的信號(hào)切換以及優(yōu)異的長(zhǎng)期使用壽命...
2025-10-22 標(biāo)簽:開(kāi)關(guān)mems以太網(wǎng)接口 126 0
四川大學(xué):協(xié)同離子-電子傳輸應(yīng)變傳感器實(shí)現(xiàn)寬工作范圍內(nèi)超高且可調(diào)靈敏度
一、 ?研究介紹 近日,四川大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院MEMS團(tuán)隊(duì)在柔性可穿戴傳感器件領(lǐng)域取得重要進(jìn)展,提出了一種基于離子-電子傳輸通道協(xié)同機(jī)制的應(yīng)變傳感器,通過(guò)...
2025-10-21 標(biāo)簽:mems應(yīng)變傳感器 925 0
院士團(tuán)隊(duì)最新綜述:MEMS技術(shù)在具身智能機(jī)器人中應(yīng)用的現(xiàn)狀與挑戰(zhàn)
? ? 近日,孫立寧教授、蘇州大學(xué)劉會(huì)聰教授與新加坡國(guó)立大學(xué)Chengkuo Lee教授在SmartBot期刊上發(fā)表了題為MEMS: The Senso...
一切始于一個(gè)大膽的構(gòu)想與一枚微型芯片。2005 年,Bosch Sensortec 由一支擁有深厚技術(shù)背景的小型團(tuán)隊(duì)創(chuàng)立,懷揣著讓 MEMS 傳感器在消...
MEMS 工藝賦能,石英諧振壓力傳感器邁向微型化與低成本時(shí)代
石英諧振壓力傳感器憑借高精度、強(qiáng)環(huán)境適應(yīng)性的核心優(yōu)勢(shì),長(zhǎng)期占據(jù)航空航天等高端領(lǐng)域,但傳統(tǒng)制造工藝帶來(lái)的 “大體積、高成本” 痛點(diǎn),使其難以向消費(fèi)電子、汽...
50.6億!中國(guó)首條8英寸MEMS晶圓全自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn),正式投產(chǎn)
近日,由中國(guó)電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“中電二公司”)承建的中國(guó)蚌埠傳感谷8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線(xiàn)EPC項(xiàng)目迎來(lái)重要里程碑——首批產(chǎn)品成功下...
?我們合作十多年的Sensortek致力于開(kāi)發(fā)高性能、高性?xún)r(jià)比的傳感器產(chǎn)品,產(chǎn)品覆蓋光學(xué)傳感器、MEMS傳感器、壓力傳感器和SAR傳感器,適用于智能手機(jī)...
揭秘智能音頻革命:如何用感芯MEMS硅麥重塑聲音體驗(yàn)?
在智能語(yǔ)音交互爆發(fā)式增長(zhǎng)的今天, 微型麥克風(fēng)的性能直接決定了設(shè)備的聽(tīng)覺(jué)神經(jīng)是否靈敏 。感芯科技通過(guò)突破性MEMS技術(shù),將原本僅存在于專(zhuān)業(yè)錄音棚的聲音捕捉...
深耕MEMS全產(chǎn)業(yè)鏈,匯聚50+大咖力量,聚焦5大前沿主題,引爆智造浪潮!
自2009年起, 中國(guó)MEMS制造大會(huì) 已連續(xù)成功舉辦五屆,累計(jì)邀請(qǐng) Bosch、ST、TDK、ADI、EVG、ULVAC、歌爾微電子、華潤(rùn)微電子、敏芯...
2025-10-13 標(biāo)簽:mems 397 0
瑞之辰小尺寸金屬封裝壓力傳感器:加速?lài)?guó)產(chǎn)化替代進(jìn)程
說(shuō)到我國(guó)MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,在起步階段與國(guó)外差距并不明顯,已初步構(gòu)建起設(shè)計(jì)、加工、封裝、測(cè)試的一條龍?bào)w系。然而,受歷史因素導(dǎo)致的條塊分割、...
型號(hào) | 描述 | 數(shù)據(jù)手冊(cè) | 參考價(jià)格 |
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MSM321A3729H9BP | 模擬輸出MEMS麥克風(fēng) MIC_3.76X2.95MM_SM |
獲取價(jià)格
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MSM261DHP006 | MEMS硅麥 1.6~3.6V ±1dB |
獲取價(jià)格
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